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반도체 및 환경시료 분석에 관련된 다양한 응용자료를 제공합니다.
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퍼킨엘머 NexION 5000 ICP-MSMS 를 이용한 VPD 시료 분석
운영자
22-03-29 11:10
588 hit
퍼킨엘머의 NexION 5000 ICP-MSMS 장비를 이용한 VPD 법 (반도체 실리콘 웨이퍼의 표면불순물 분석을 위한 기본 분석법) 소개 입니다.
첨부파일
101_FAR_ICPMS_Multi-Quadrupole ICP-MS를 이용한 VPD 시료분석.pdf
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퍼킨엘머 NexION 5000 ICP-MSMS 와 MRS 를 통한 HF 직접분석
2022.03.29
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